ホーム - 用語集 - ULPAフィルター(Ultra Low Penetration Air Filter)

ULPAフィルター(Ultra Low Penetration Air Filter)

数-AZ・50音:数-AZ

分野:電子デバイス

定格流量で粒径が0.15μmの粒子に対して99.9995%以上の粒子捕獲率をもつエアフィルター。半導体工場のような高い清浄度が要求されるクリーンルームや生産装置等に使用される超高性能フィルターで、HEPAでは除去できない0.1μm程度の微少粒子も除去できる。