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クリーンルーム

数-AZ・50音:か行

分野:電子デバイス

空気中における浮遊微粒子、浮遊微生物が限定された清浄度レベル以下に管理されると共に、その空間に供給される材料、薬品、水などについても要求される清浄度が保持され、さらに必要に応じて温度、湿度、圧力などの環境条件についても管理が行われている空間。