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空気のカーテンで清浄空間を創造

T-Clean® Air Wall

分野

電子デバイス, 食品

課題

衛生環境整備, 工場再構築, 研究施設, 新工場計画

高い清浄度と作業性を両立させたクリーンブース

電子デバイス製造施設をはじめとする生産施設のクリーンルームは、生産施設のランニングコストが高く、低コスト化、省エネルギー化が強く望まれています。
従来は天井全面から清浄な空気を送り込み、床面で排気することにより室内全体のクリーン度を保つ、エネルギー消費の多い全面層流型空調システムが多く用いられてきました。しかし、近年ではクリーンルーム全体の清浄度を上げるのではなく、高い清浄度が求められるエリアにのみクリーンブースを用いる乱流方式が主流となっています。その際、従来のクリーンブースはビニルカーテンやガラスによる区画を必要とし、それによって、移動動線が遮られる為、生産作業そのものに支障をきたす場合がありました。

今回開発した「T-Clean® Air Wall」は、物理的な壁の代わりにエアカーテンによる空気の壁をつくることで高い清浄度と作業性を両立させた新しいクリーンブースです。

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既存クリーンブースの例

既存クリーンブースの例

ウォールレス型クリーンブース

ウォールレス型クリーンブース

T-Clean® Air Wallの特徴

1.クリーンブース内の清浄度は確保したままで作業性を向上

エアカーテンによる区画化により、従来のクリーンブースの課題であった人や搬送装置の移動動線の妨げといった問題を解消し、作業性を高めることができます。クリーンブース内部は従来のクリーンブースと同等の清浄度を確保しています。

2.低風速でのエアカーテンの構築

エアカーテンの吹出し風速は1m/s以下の低風速であり、床面に堆積した塵埃の巻き上げはありません。また、エアカーテン直下においても気流感をほとんど感じることのない風速域としています。

3.容易に清浄エリアを移動

エアカーテン構築に求められることの多い床面での吸込み口が不要となり、必要なエリアへのクリーンブースの移動が容易に行えます。

4.ニーズにあわせたアレンジが可能

製造手法に合わせ、全面開口、1面のみの開口、あるいは製造ライン上に設置することを考えた2面開口(トンネル方式)と使用者のニーズに沿ったクリーンブースを構築できます。

今後の展開

電子デバイス製造施設の新築や改修などにおいて、省エネや低コストが求められるような、局所クリーン化を必要とされるクリーンルームに対して提案を行うとともに、エアカーテンによる交差汚染防止効果を活かして医療施設、食品工場などさまざまな施設への適用を進めていきます。

また、当社開発品である上下反転可能なファンフィルタユニットを利用することで、クリーンブース内部の清浄度を確保するのみではなく、クリーンブース内部での発塵を外部へ飛散させることのない排気処理型クリーンブースとしての利用も可能となります。

(コンテンツ作成日 2016年11月)

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