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ケミカルフィルタ交換の必要も製造ラインも止める必要なし

化学汚染物質除去ユニット

分野

電子デバイス

課題

衛生環境整備

お困りごと

クリーンルーム内の最先端のプロセスに悪影響を及ぼす化学物質。化学汚染の除去のために化学物質を吸着・除去するケミカルフィルタを装着しているが、除去対象成分毎に種類の異なるケミカルフィルタを用意する必要がある。
またフィルタの交換も定期的に必要であり、その交換時には製造ラインを止めなければならない。

化学汚染物質除去ユニットで解決

化学汚染物質除去ユニット

化学汚染物質除去ユニット

高集積度の半導体製造工程で製造の障害となる化学汚染の除去のために、大成建設と伸和コントロールズ株式会社で共同開発したのが「化学汚染物質除去ユニット」です。
有機物や酸性ガスなどの化学汚染物質を高効率で除去し、フィルタ交換の時期を心配する必要がなく、製造ラインを止める必要もない超清浄空気供給システムを開発しました。

導入のメリット
  • 定期的なケミカルフィルタ交換不要
  • 複数のケミカルフィルタを用意する必要がない
  • 製造ラインを止める必要がなく、生産性の向上につながる
  • 吸着部の再生使用が可能なためランニングコストの低減を実現
  • 既存のクリーンルームにも導入可能
  • 臭気を出さないため従業員の労働環境を改善
システム構造

再生可能な化学物質吸着塔がパラレルに2つ装着されています。
化学物質吸着塔にはセラミックスなど複数の無機多孔物質を組み合わせたフィルタを使用し、フィルタで汚染物質を吸着除去しクリーンなエアを供給します。汚染物の吸着したフィルタは熱風をあてることによって汚染物を脱着し、再生します。休止中の吸着塔は自動的に再生処理が行われるため、これらを交互運転することで、フィルタの交換が必要なく、連続運転が可能となります。

化学汚染物質除去ユニットの吹き出し口

化学汚染物質除去ユニットの吹き出し口

システム構造

システム構造(拡大)

性能
  • 基本性能
    塩基性ガス(アンモニアなど):除去率99.0%以上
    有機性ガス:除去率99.0%以上
    酸性ガス(窒素酸化物、硫黄酸化物など):除去率90.0%以上
    活性炭では取り除くことが難しかった有害物質のシロキサンの除去可能
  • 温度・湿度制御
    精密温調ユニットと組み合わせることで温湿調整された清浄空気を供給
    温度:20〜27±0.08℃
    湿度:40〜50±0.4%(RH)
  • 風量:5〜100m3/min
  • 運転サイクル例
    再生サイクル:14日間
    再生時間:48時間
こんな場所にも導入可能
  • 製造ラインや研究室→臭気の発生を抑える
  • 美術館、収蔵庫など→アンモニアなどの化学物質の除去に効果的

大成建設担当者より

技術センター 若山 恵英

画像入社時よりクリーンルームに関わる仕事をしてきました。クリーンルーム内で最先端のプロセスに悪影響を及ぼす有害なガスが出ているのはわかっていましたが、原因はわかりませんでした。

エアフィルターや施設内に使用するシール材を少なくするなどアウトガスが出にくいものを研究してきました。今回の化学汚染物質除去ユニットのシステムは伸和コントロールズ株式会社さんと共同開発したものです。大成建設技術センターで実験装置を作り、実証実験を行いプロセスでも効果が確認できています。

オールマイティに匂いを取ることができますので、研究施設などの実験環境の向上や医薬品工場、病院などへの導入も有効だと考えていますので是非ご相談下さい。効果を強く感じていただければと思っています。

※本コンテンツに記載された情報(役職、数値、固有名詞等)は初掲載時のものであり、
閲覧される時点では変更されている可能性があることをご了承ください。

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